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듀얼 콤비네이션 쿼드 프로브 테스터
하나.이중 전기 조합 쿼드 프로브 원리:
1.쿼드 프로브 더블 비트 조합 측정 기술을 채택하여 반드버그 측정 방법을 직선 쿼드 프로브에 적용합니다.전류 프로브와 전압 프로브의 조합 변환을 이용하여 두 차례의 전기 측정을 진행하는데, 그 마지막 계산 결과는 샘플의 기하학적 사이즈, 경계 효과 및 프로브의 부등거리와 기계적 이동 등 요소로 인해 발생하는 측정 결과에 대한 불리한 영향을 자동으로 제거할 수 있다.
2. 테스트 과정에서 기본 조건을 만족시키면 탐침 간격, 샘플 사이즈 및 탐침이 샘플 표면에서의 위치 등을 고려하지 않을 수 있다.
3. 자동으로 수정하여 테스트 결과에 미치는 영향을 낮추어 측정 결과의 정확도를 향상시켰다.
2.듀얼 전기 조합 쿼드 프로브의 장점:
1.일반적인 4 프로브 측정 방법은 해결할 수 없습니다, 기하학적 경계 조건과 프로브 간격의 자동 수정.
2. 각종 형태의 부막 및 편상 반도체 재료에 응용한다.