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3. 반침투설비와 전기이온제거(EDI) 설비를 조합하여 전자공업의 초순수를 제조하는 방식, 이것은 초순수를 제조하는 새로운 공정이자 환경보호, 경제, 발전 잠재력이 큰 초순수제조공정, 그 기본공정은 원수→다매체여과기→활성탄여과기→정밀여과기→중간물탱크→반침투설비→전기이온제거(EDI)

