고온 4탐침 저항률 테스트 시스템 상세 정보 소개

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개요

고온 4탐침 저항률 테스트 시스템 상세 정보 소개

제품 정보

기능 개요: overview

1.4 탐침 이중 전기 조합 측정 방법 테스트 측 저항과 저항률 시스템과 고온 상자 결합

2. 고온 4탐침 테스트 탐침 치구 배치

3. PC 소프트웨어의 데이터 처리 및 측정 제어.

4.측정 범위.

고온 4탐침 저항률 테스트 시스템 상세 정보 소개

적용 지침:

반도체 재료의 전도율은 온도 변화 측정에 대한 요구, 측정 제어 소프트웨어는 온도와 저항, 저항률, 전도율 데이터의 변화 곡선 도표 및 과정 데이터 값의 보고서 분석을 실시간으로 그립니다.

해당업종: Applicable

industry:

사용처: 기업, 대학교, 과학 연구 부서의 전기 전도 세라믹, 실리콘, 게르마늄 단결정 (막대, 웨이퍼) 저항률, 실리콘 외연층, 확산층과 이온 주입층의 블록 저항 측정 및 전기 전도 유리 (ITO) 및 기타 전기 전도 필름 등 신소재 블록 저항, 저항률과 전도율 측정 데이터.

쌍전측사탐침기는 직선사탐침의 이위측량을 운용한다.단결정 실리콘 물리 테스트 방법에 부합하도록 설계하다

표준 및 미국 A.S.T.M 표준 참조.

모델 및 매개변수 Modelsand technical parameters：

사양 모델

Models

FT-351A

FT-351B

FT-351C

1. 블록 저항 범위 sheet

resistance

10-5～2×105Ω/□

10-6～2×105Ω/□

10-4～1×107Ω/□

2. 저항률 범위 resistivity

range

10-6～2×106Ω-cm

10-7～2×106Ω-cm

10-5～2×108Ω-cm

3. 테스트 전류 범위 test current

range

0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

10mA ---200pA

4. 전류 정밀도 current accuracy

±0.1% 판독

±0.1 판독

±2%

5. 저항 정밀도 resistance accuracy

≤0.3%

≤0.3%

≤10%

PC 소프트웨어 인터페이스

PC software interface

표시: 저항, 저항률, 방저항, 온도, 단위환산, 온도계수, 전류, 전압, 프로브 모양, 프로브 간격, 두께

, 전도도

LCD: resistance.resistivity.

sheet resistance. temperature.unit

conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe

spacing. thickness

7. 테스트 방식 test mode

이중 전기 측정 Double electrical

measurement

8. 쿼드 프로브 작동 전원 workingpower

AC 220V±10%.50Hz <30W

9.오차errors

≤3% (표준 샘플 결과 standard

samples）

≤15%

온도(옵션) Highest temperature

(choose and buy)

상온 Normal

temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃

분위기 보호 (기체 고객 지원)

Atmosphere protection(Gas

was provided by customers themselves)

상용 기체는 다음과 같다: 헬륨 (He), 네온 (Ne), 아르곤 (Ar), 크립톤 (Kr), 제논 (Xe), 라돈 (Rn), 모두 무색, 무취, 기체 상태의

단원자 분자

The usual gases are:

helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn).

all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules.

온도 정밀도

Temperature precision

충온치 Blunt

temperature values：≤1-3℃；온도 조절 정밀도 control precision: ± 1°C

온도 상승 속도:

rate of temperature

increase

상온에서 400 ℃ -800 ℃ 를 시작하려면 15분이 걸립니다.800 ℃ -1200 ℃ 는 30 분 걸립니다.1400℃-1600℃ 250분~300분 소요

About 15 minutes at room

temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to

1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes

고온 재료

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모델 및 매개변수 Modelsand technical parameters：	사양 모델	Models	FT-351A
FT-351B	FT-351C	1. 블록 저항 범위 sheet	resistance
10-5～2×105Ω/□	10-6～2×105Ω/□	10-4～1×107Ω/□	2. 저항률 범위 resistivity
range	10-6～2×106Ω-cm	10-7～2×106Ω-cm	10-5～2×108Ω-cm
3. 테스트 전류 범위 test current	range	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
10mA ---200pA	4. 전류 정밀도 current accuracy	±0.1% 판독	±0.1 판독
±2% 5. 저항 정밀도 resistance accuracy	≤0.3% ≤0.3%
≤10%	PC 소프트웨어 인터페이스
PC software interface	표시: 저항, 저항률, 방저항, 온도, 단위환산, 온도계수, 전류, 전압, 프로브 모양, 프로브 간격, 두께
, 전도도	LCD: resistance.resistivity.		sheet resistance. temperature.unit
conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness	7. 테스트 방식 test mode
이중 전기 측정 Double electrical measurement	8. 쿼드 프로브 작동 전원 workingpower AC 220V±10%.50Hz <30W
9.오차errors ≤3% (표준 샘플 결과 standard	samples）
≤15% 온도(옵션) Highest temperature	(choose and buy) 상온 Normal
temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ 분위기 보호 (기체 고객 지원)	Atmosphere protection(Gas
was provided by customers themselves) 상용 기체는 다음과 같다: 헬륨 (He), 네온 (Ne), 아르곤 (Ar), 크립톤 (Kr), 제논 (Xe), 라돈 (Rn), 모두 무색, 무취, 기체 상태의	단원자 분자
The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn).	all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. 온도 정밀도
Temperature precision 충온치 Blunt	temperature values：≤1-3℃；온도 조절 정밀도 control precision: ± 1°C
온도 상승 속도: rate of temperature	increase 상온에서 400 ℃ -800 ℃ 를 시작하려면 15분이 걸립니다.800 ℃ -1200 ℃ 는 30 분 걸립니다.1400℃-1600℃ 250분~300분 소요
About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to	1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes 고온 재료